硅片脏污问题研究

（4）预清洗喷淋不当。

预清洗洗喷淋槽的水压，水质，喷嘴的流量和角度及喷淋时间等，都会对清洗效果有很大影响。不少企业为降低成本，预清洗工序使用中水喷淋，由于中水的酸碱性与砂浆发生化学反应，会导致硅片表面难以清洗干净，因此中水在使用前要检验其ph值是否符合要求。喷嘴的水压一般是2.5MPa，喷嘴的流量和角度以及喷淋时间要根据实际清洗情况进行调整，保证硅片表面无脏污，再进行脱胶。

（5）脱胶槽温度过高导致。

脱胶槽温度过高，会使得硅片表面的水分在未从硅片表面流下时便蒸发，在硅片表面留下带有砂浆或硅粉的印记。若使用乳酸脱胶，则要求脱胶槽的温度不得超过80℃。

（6）硅片表面砂浆、硅粉残留过多。

若硅片在脱胶前便从托盘上脱落下来，由于砂浆的粘附作用硅片之间会粘连在一起，喷淋槽进行喷淋时不能将两片硅片之间的砂浆冲洗干净，造成硅片表面砂浆、硅粉残留过多产生脏片。一般硅片掉落主要是粘接原因导致：玻璃和硅块粘接面未擦拭干净，表面有杂物，粘接不牢固;胶水混合不均匀;刮胶不均，胶层厚度不一致，出现分层;粘接硅块时气泡未排挤出来;粘接完毕后，固化时间不足即进行切割。对于掉片导致产生的脏片，一般可通过调整预清洗机工艺和清洗机工艺解决。预清洗机工艺调整：延长喷淋和超声浸泡时，减少脱胶后残留的砂浆，为清洗减轻负担;另外在不影响脱胶效果的前提下，多次更换超声清洗槽的水，并在脱胶槽多添加适量的乳酸或清洗机，这样脱胶完后的硅片会比较干净，减少脏污片产生的可能性。清洗机工艺调整：加大纯水漂洗槽水的溢流速度，或者延长漂洗时间;同时清洗一定量的硅片后，向碱槽内添加一定量的清洗剂，以减少脏污片的产生。

5.油片产生原因

油片一般分为真油片和假油片。

真油片是硅片表面粘有油迹造成，主要是由于设备漏油滴到硅片表面造成，通常是由于线锯工作台位置液压油漏油导致。对于油片，清洗工序难以直接清洗掉，可通过电池制绒工序进行清洗处理。

假油片是硅片表面没有清洗干净的切割液，切割液的主要成分是聚乙二醇，另外还包括脂肪酸、脂肪酸盐、表面活性剂、消泡剂和水等成分。性能优良的切割液具有良好的悬浮性、冷却性和易清洗性。由于砂浆是由碳化硅和切割液混合成的，在切割过程中起切割作用的是碳化硅颗粒，随着钢线的转动，碳化硅颗粒包裹在钢线表面对硅块进行磨削切割，因此切割液须具有良好的悬浮性保证碳化硅颗粒能均匀地分散在钢线表面且不会在砂浆中产生沉淀。

切割过程中，由于碳化硅颗粒和硅块的摩擦作用会产生较多热量，切割液的冷却性能可以降低砂浆温度，防止高温造成硅片灼伤。切割液的易清洗性能则会对硅片外观质量产生直接影响，硅片表面脏污片的产生与此有重要关系，因此要求切割液须满足以下参数要求：切割液的粘度须保证碳化硅颗粒的悬浮效果、又可以保证砂浆在线锯上的适度附着，增强砂浆的热传导效率，切割液的粘度范围为45-60pas;切割液的酸碱性，不仅直接影响硅片表面的洁净度，引起硅片表面的脏污现象。

6.水印片产生原因

水印片的位置通常是在硅片胶面产生的条状水印，此类片一般会在某个时间段连续出现。预清洗洗喷淋槽的水压，水质，喷嘴的流量和角度及喷淋时间会对清洗效果有很大影响。其中中水的酸碱性与砂浆发生化学反应，会导致硅片表面难以清洗干净主要是因为清洗机清洗温度过高在慢提拉过程中导致产生线状水印，可通过降低慢提拉槽的温度，同时改变插片方向进行解决。

7.小结

目前，新的硅片清洗工艺一般在室温条件下进行反应，减少清洗的步骤，并尽量减少化学溶液的使用，达到了比较好的清洗效果。在实际生产中，更换切割液、乳酸、清洗剂等原材料都有可能造成产生脏污片，通过分析脏污片的类型和产生原因配合清洗工艺的调整可以最大程度地降低脏污片对硅片质量的影响。